Deposición física desde fase vapor: Evaporación por haz de electrones

El servicio de micro y nanofabricación (MiNa) del Instituto de Microelectrónica de Madrid (IMM) une el Laboratorio de Litografía de Alta Resolución (LAB-LAR) con el resto del equipamiento de la Sala de Fabricación del IMM. El LAB-LAR pertenece a la Red de Laboratorios e Infraestructuras de Investigación de la Comunidad de Madrid disponiendo de la certificación de calidad ISO 9001. MiNa oferta un servicio flexible adaptando la tecnología al usuario, abarcando desde procesos básicos de fabricación que constan de una sola etapa, hasta procesos de fabricación multi-etapa, ofreciendo la posibilidad de fabricar estructuras complejas sin las restricciones impuestas por una Sala Blanca convencional. Nuestra amplia experiencia, pionera en el desarrollo de la nanotecnología en España, permite ofrecer procesos tecnológicos más allá de los estándares. Destacamos la litografía de alta resolución por haz de electrones y la litografía de ultra alta resolución por haz de iones en grandes áreas.

El Laboratorio de Caracterización y Crecimiento de Capas Delgadas dispone de los siguientes equipos y servicios: • Perfilómetria: de contacto, marca Veeco, mod. Dektak 150. y optica, Profile3D ScienTec • Espectrómetro Raman, EZ-Raman-N de Enwave Optronics, con microscopio LEICA DM300 y láser Nd:YAG de 532 nm. • Emisómetro portátil marca Devices & Service Company (modelo AE1) • Analizador GDOES, mod. RF-GD-Profiler, marca Horiba Jobin Yvon, con ánodo de 4mm. • Espectrofotómetro UV-Visible-IR cercano, Shimadzu mod. Solidspec-3700 con esfera integradora, 190 nm-3300nm. • Nanoindentador, mod. NanoTest P1, marca MicroMaterials, con péndulo de 500mN y punta piramidal Berkovich. • Sistemas de depósito capas delgadas:(i) Sputtering magnetrón para crecimiento de metales, óxidos y nitruros;(ii) Evaporación térmica mediante dos cañones de electrones y asistencia con haces de iones. •. Tratamientos térmicos en atmósfera controladada.