Deposición física desde fase vapor: Sputtering Magnetron

El Laboratorio de Caracterización y Crecimiento de Capas Delgadas dispone de los siguientes equipos y servicios: • Perfilómetria: de contacto, marca Veeco, mod. Dektak 150. y optica, Profile3D ScienTec • Espectrómetro Raman, EZ-Raman-N de Enwave Optronics, con microscopio LEICA DM300 y láser Nd:YAG de 532 nm. • Emisómetro portátil marca Devices & Service Company (modelo AE1) • Analizador GDOES, mod. RF-GD-Profiler, marca Horiba Jobin Yvon, con ánodo de 4mm. • Espectrofotómetro UV-Visible-IR cercano, Shimadzu mod. Solidspec-3700 con esfera integradora, 190 nm-3300nm. • Nanoindentador, mod. NanoTest P1, marca MicroMaterials, con péndulo de 500mN y punta piramidal Berkovich. • Sistemas de depósito capas delgadas:(i) Sputtering magnetrón para crecimiento de metales, óxidos y nitruros;(ii) Evaporación térmica mediante dos cañones de electrones y asistencia con haces de iones. •. Tratamientos térmicos en atmósfera controladada.