Localidad
Madrid (Madrid)

Caracterización y Crecimiento de Capas Delgadas

INSTITUTO DE CIENCIA DE MATERIALES DE MADRID

El Laboratorio de Caracterización y Crecimiento de Capas Delgadas dispone de los siguientes equipos y servicios:
• Perfilómetro de contacto, marca Veeco, mod. Dektak 150.
• Espectrómetro Raman, EZ-Raman-N de Enwave Optronics, con microscopio LEICA DM300 y láser Nd:YAG de 532 nm.
• Emisómetro portátil marca Devices & Service Company (modelo AE1)
• Analizador GDOES, mod. RF-GD-Profiler, marca Horiba Jobin Yvon, con ánodo de 4mm.
• Espectrofotómetro UV-Visible-IR cercano, marca Shimadzu mod. Solidspec-3700 con esfera integradora, rango 190 nm-3300nm.
• Nanoindentador, mod. NanoTest P1, marca MicroMaterials, con péndulo de 500mN y punta piramidal Berkovich.
• Sistemas de depósito de capas delgadas: (i) Sputtering magnetrón para crecimiento de metales, óxidos y nitruros; (ii) Evaporación térmica mediante dos cañones de electrones y asistencia con haces de iones (nitrógeno o gas noble).
• Tratamientos térmicos hasta 900°C en atmósfera con

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