Spectroscopy: UV - Visible spectral reflectometry

La Sala Blanca integrada de Micro y Nano fabricación (SBCNM) es una Gran Instalación (ICTS) dedicada al desarrollo y aplicación de tecnologías innovadoras en el campo de la microelectrónica, junto con otras Micro / Nanotecnologías emergentes. Está integrada administrativamente en el Centro Nacional de Microelectrónica - Instituto de Microelectrónica de Barcelona - (IMB-CNM), un centro de investigación perteneciente al Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC). Desde su creación, la SBCNM es la principal instalación de apoyo a la actividad de I + D del IMB-CNM. Aunque claramente definida en sus recursos, las políticas y la misión, la SBCNM necesita ser entendida en el marco del IMB-CNM. La Sala Blanca da servicio no sólo a los grupos de investigación del IMB-CNM, sino que también es un centro de acceso abierto con una amplia orientación científica y técnica en el campo de los dispositivos, circuitos y sistemas basados en la micro y nanotecnología.

El servicio de espectroscopía ofrece prestaciones para espectroscopía fotoelectrónica de Rayos X, espectroscopía infrarroja con transformada de Fourier, espectroscopía visible ultravioleta, espectroscopía Raman, difracción de Rayos X y análisis petrográfico

El Laboratorio de Caracterización y Crecimiento de Capas Delgadas dispone de los siguientes equipos y servicios: • Perfilómetria: de contacto, marca Veeco, mod. Dektak 150. y optica, Profile3D ScienTec • Espectrómetro Raman, EZ-Raman-N de Enwave Optronics, con microscopio LEICA DM300 y láser Nd:YAG de 532 nm. • Emisómetro portátil marca Devices & Service Company (modelo AE1) • Analizador GDOES, mod. RF-GD-Profiler, marca Horiba Jobin Yvon, con ánodo de 4mm. • Espectrofotómetro UV-Visible-IR cercano, Shimadzu mod. Solidspec-3700 con esfera integradora, 190 nm-3300nm. • Nanoindentador, mod. NanoTest P1, marca MicroMaterials, con péndulo de 500mN y punta piramidal Berkovich. • Sistemas de depósito capas delgadas:(i) Sputtering magnetrón para crecimiento de metales, óxidos y nitruros;(ii) Evaporación térmica mediante dos cañones de electrones y asistencia con haces de iones. •. Tratamientos térmicos en atmósfera controladada.

El servicio de análisis y determinación estructural incluye diversas técnicas utilizadas para determinar la composición elemental y la estructura molecular de sustancias químicas puras o de mezclas de las mismas. Adicionalmente se podrán cuantificar las sustancias en mezclas simples o complejas. El servicio dispone de equipos de: 1.- Análisis elemental 2.- Infrarrojo 3.- UV-visible 4.- Polarímetro para determinación de actividad óptica 5.- Espectrometría de masas 6.- Espectroscopía de resonancia magnética nuclear 7.- UV-Con esfera integradora 8.- Servicio de cálculo científico 9.- Sistema de purificación de disolvente (SPS)

La técnica de espectroscopía en el rango ultravioleta, visible e infrarrojo cercano (UV-Vis-NIR) nos permite conocer como materiales de distinta morfología (principalmente polvos, láminas y partículas o moléculas en suspensión) reflejan y transmiten la luz incidente en el rango comprendido entre 190 nm y 3000 nm. De esta forma, es posible extraer información sobre su eficiencia como filtros ópticos, ya sean especulares o difusores, y/o sobre la luz absorbida por ellos, lo que indirectamente nos permite estimar su gap electrónico (en el caso de dieléctricos), las transiciones electrónicas que tienen lugar (en el caso de moléculas o sistemas dopados con átomos de otra especie), o las resonancias plasmónicas (en el caso de metales). Instrumental disponible Cary 5000+UMA (Universal Measurement Accessory) Cary 300