Descripción del servicio
El laboratorio de capas finas permite fabricar capas finas de metales y aleaciones mediante pulverización catódica (sputtering) usando cátodos con magnetrón. La cámara dispone de tres magnetrones. El acceso a la cámara se realiza mediante precámara, siendo la presión base del orden de 10-8 mbar. Las capas se depositan en atmósfera de Ar y pueden crecerse a temperatura que puede llegar a 800 ºC. La cámara de sputtering está conectada en una estructura cluster a dos cámaras de PLD, lo que posibilita la preparación de heterostructuras metal/óxido sin exposición de las muestras al ambiente.
Cuadro de opciones y precios
Opciones |
Unidad |
Public Sector |
Other customers |
General |
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21.1 € |
54.86 € |