DISPOSITIVO DETECTOR SEMICONDUCTOR DE PARTÍCULAS IONIZANTES

Este dispositivo semiconductor resistente a la radiación se integra en tecnología de fabricación CMOS estándar. Actúa como un píxel activo en detectores de imágenes. Es capaz de capturar imágenes detectando partículas cargadas con energías en el rango de 1 a 10 KeV. Su funcionamiento se basa en medir la carga electrostática generada en un condensador cuando es irradiado por radiación. Utiliza condensadores MiM disponibles en procesos CMOS estándar. El dispositivo puede detectar y medir tanto el signo como las variaciones de la carga inducida en un electrodo metálico flotante. La distribución en forma de píxeles, permite medir la distribución espacial del flujo de radiación ionizante.