Ellipsometry of thin layers on silicon

Cinco laboratorios de Sala Blanca clase 10.000 (ISO7): Lab. de litografía óptica Avanzada, Lab. de Caracterización de materiales funcionales en la nanoescala, Lab. de caracterización físico-química y Nanofabricacion, Lab. de síntesis Química y Laboratorio de alto control de humedad, para la deposisión de soluciones no-acuosas y el crecimiento de nanoestructuras; El laboratorio Nanoquim esta dedicado a la nanoestrucutración de materiales obtenido por procedimientos químicos, lo que contituye la caracterítica más distitiva de la Plataforma Nanoquim. Hay instalados unos 30 equipos científicos diferentes en la instalación, destinados al control de las propiedades físico-químicas de soluciones, equipamiento para la deposición y la nanoestrucutración, crecimiento de Nano-materiales, caracterización de películas delgadas, caracterización en la nanoescala, grabado selectivo físico-químicos para metales, óxidos y polímeros y equipamiento para contactos electrícos y litografía.

El servicio de Espectrofotometría de infrarrojos del ICMM-CSIC proporciona a los investigadores de dicho centro información sobre la respuesta IR de diversos materiales para su identificación química o información textural (láminas delgadas y composites). Bruker IFS 66V-S (10.000-50 cm-1) Con él se pueden realizar medidas en muestras sólidasy pulverulentas, en vacío. El rango espectral abarcado va desde el infrarrojo lejano (50 cm-1) hasta el infrarrojo cercano (10.000 cm-1). Elipsómetro SOPRA GES 5E, provisto con una lámpara de Xe, con goniómetro, que permite ajustar los ángulos de incidencia sobre la muestra, abarcando un rango espectral que va desde los 190 nm a los 2000 nm. Este elipsómetro es capaz de determinar el cambio del estado de polarización de un haz de luz polarizada producido por la reflexión sobre una superficie pulida.

La Sala Blanca integrada de Micro y Nano fabricación (SBCNM) es una Gran Instalación (ICTS) dedicada al desarrollo y aplicación de tecnologías innovadoras en el campo de la microelectrónica, junto con otras Micro / Nanotecnologías emergentes. Está integrada administrativamente en el Centro Nacional de Microelectrónica - Instituto de Microelectrónica de Barcelona - (IMB-CNM), un centro de investigación perteneciente al Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC). Desde su creación, la SBCNM es la principal instalación de apoyo a la actividad de I + D del IMB-CNM. Aunque claramente definida en sus recursos, las políticas y la misión, la SBCNM necesita ser entendida en el marco del IMB-CNM. La Sala Blanca da servicio no sólo a los grupos de investigación del IMB-CNM, sino que también es un centro de acceso abierto con una amplia orientación científica y técnica en el campo de los dispositivos, circuitos y sistemas basados en la micro y nanotecnología.

El perfilómetro permite medir espesores mediante la variación de altura de un escalón producido por rayado sobre la muestra recubierta. El sistema consta de una punta de diamante acoplada a un transductor, que se va desplazando sobre la superficie hasta encontrar el surco o raya. El equipo mide la variación de altura. El rugosímetro permite medir el acabado superficial de un material. Los límites del equipo viene marcados por la longitud de recorrido (Lc) que varía entre 0,25 mm a 25,0 mm, y el alcance del captador, que varía entre 10 y 500 μm La técnica de ángulo de contacto mide el ángulo (α) que forma la superficie de una gota en contacto con un sustrato. . La determinación se realiza tomando una fotografía de la forma de la gota sobre la superficie del sustrato y determinando su ángulo. La elipsometría espectroscópica es una técnica de caracterización muy sensible. Permite conocer el índice de refracción y el espesor de los materiales depositados