- Áreas de investigación
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- Ciencia y Tecnologías Físicas, Matemáticas, Robótica y Computación
- Grupo
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- Fabricación y Tratamiento
- Subgroup
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- Litografía
Ebeam Lithography
| Support unit | Support unit Information | Selected service | Other services |
|---|---|---|---|
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Sala Blanca Integrada de Micro y Nanofabricación IMB-CNM - Cerdanyola del Vallès |
Service general data
- Support unit: Sala Blanca Integrada de Micro y Nanofabricación
- Institute: INSTITUTO DE MICROELECTRONICA DE BARCELONA
- Locality: Cerdanyola del Vallès (Barcelona)
- Service's web: http://www.imb-cnm.csic.es/index.php/en/clean-room
La Sala Blanca integrada de Micro y Nano fabricación (SBCNM) es una Gran Instalación (ICTS) dedicada al desarrollo y aplicación de tecnologías innovadoras en el campo de la microelectrónica, junto con otras Micro / Nanotecnologías emergentes. Está integrada administrativamente en el Centro Nacional de Microelectrónica - Instituto de Microelectrónica de Barcelona - (IMB-CNM), un centro de investigación perteneciente al Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC). Desde su creación, la SBCNM es la principal instalación de apoyo a la actividad de I + D del IMB-CNM. Aunque claramente definida en sus recursos, las políticas y la misión, la SBCNM necesita ser entendida en el marco del IMB-CNM. La Sala Blanca da servicio no sólo a los grupos de investigación del IMB-CNM, sino que también es un centro de acceso abierto con una amplia orientación científica y técnica en el campo de los dispositivos, circuitos y sistemas basados en la micro y nanotecnología.
Ebeam Lithography
Benefit description
Nanolithography Technique by Electron Beam. Model Raith 150TWO (Dedicated e-beam lithography equipment) . Use in self-service mode or with the support of a technician. (Cost of personnel not included).| Options | Unit | Public Sector | Other customers |
|---|---|---|---|
| Alta autoservicio EBL Raith 150 | € / hora | 181.86 € | 254.61 € |
| Alta autoervicio Wet station for spin coat/develop resists E | € / hora | 104.45 € | 146.23 € |
| Autoservicio EBL Raith 150 | € / hora | 124.27 € | 173.97 € |
| GENERAL | € / hora | 167.87 € | 235.02 € |
| Autoervicio Wet station for spin coat/develop resists E | € / hora | 46.85 € | 65.59 € |
Other services
- Alquiler de espacio en laboratorio de ambiente controlado (Sala Blanca)
- Deposición de capas por spinner
- Ataque iónico reactivo (RIE)
- Elipsometría de capas delgadas sobre silicio
- Espectroscopía micro-Raman
- Focused Ion Beam Characterization and Nanofabrication
- Grabados húmedos, limpiezas y tratamiento de superficies
- Other inspection techniques: Optical profilometry
- Thermal Nanoimprint
- Perfilometría
- Photolithography: Contact photolithography - backside align
- Photolithography: Standard resist processing - manual
- Plasma CVD: PECVD
- Microscopía de barrido: AFM contacto
- Spectroscopy: UV - Visible spectral reflectometry
- Tratamiento de superficies por plasma
- Fabricación de muestras, componentes microelectrónicos y circuitos integrados en Sala Blanca
- Soldadura de obleas
- Secado por punto crítico (Critical Point Dryer)
- Microscopía Electrónica de Barrido (SEM)
- Laser Photolithography