Litografía por haz de electrones

Descripción de la prestación

El servicio de microscopía electrónica de barrido, está equipado con un microscopio QUANTA FEI 200 FEG-ESEM que ofrece una potente herramienta de imagen para la inspección rutinaria y avanzada de materiales. El equipo está diseñado para ofrecer imágenes con alta resolución (1.2Nm @ 30kV) está dotado con un cañón de emisión de campo, especializado para la caracterización morfológica de nanocristales, materiales nanoestructurados y superficies. Imágenes de contraste proporcional al número atómico también está disponible con alta resolución lateral (2,5 nm @ 30 kV) gracias a un detector de electrones retrodispersados. El instrumento se puede utilizar en el modo de alto vacío, modo de bajo vacío (la presión de la cámara se controla mediante inyección de vapor de agua), y en modo ambiental (ESEM). Esto hace que sea posible el estudio de muestras en presiones de hasta 5 Torr. La resolución es muy buena en todas las condiciones: 1,2 nm y 1,5 nm a 30 kV y en los modos de alto y bajo vacío, respectivamente. La capacidad para variar la presión de la cámara es especialmente adecuada para la observación de materiales no conductores sin necesidad de recubrimiento. El microscopio también cuenta con un detector EDS diseñado para caracterizar elementos ligeros, comenzando por Be, con una energía de resolución de 132 eV. Esta herramienta permite el análisis químico elemental con una alta resolución lateral (punto de análisis y mapeo elemental), como es imprescindible para la caracterización de materiales nanoestructurados y multicomponentes complejos. El servicio incluye la litografía por haz de electrones, que se utiliza en muchos campos de investigación. En el ICMAB como desarrollo de dispositivos orgánicos, la fabricación de plantillas de sustrato diseñados para la ingeniería, defecto en películas delgadas superconductoras epitaxiales, la investigación de los fenómenos de superficie de auto-organización, y la fabricación de dispositivos magnetoelectrónicos. Litografía y nano-litografía pueden ser realizados por un haz de electrones (e-beamRAITH). Es un SEM ambiental, lo que permite la caracterización de materiales no conductores sin que sea necesario un recubrimiento conductor para su análisis.

Descripción de la prestación

Equipo: e-LINE Plus (Raith nanofabrication). Cátodo de emisión de efecto campo con energía del haz de 30 kVe. Equipado con con la tecnologías traxx and periodixx que permiten la exposición de estructuras libres errores de solapamiento, ideales para la fabricación de guías de onda, resonadores, cristales fotónicos, etc. Portamuestras diseñado para alojar desde muestras pequeñas hasta obleas de 4». Portamuestas para fabricación de máscaras ópticas de 4». Resolución : 10 nm