- Áreas de investigación
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- Ciencia y Tecnologías Físicas, Matemáticas, Robótica y Computación
- Grupo
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- Fabricación y Tratamiento
- Subagrupación
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- Litografía
Laser Photolithography
| Unidad de servicio | Información de la unidad de servicio | Prestación seleccionada | Otras prestaciones de servicio |
|---|---|---|---|
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Sala Blanca Integrada de Micro y Nanofabricación IMB-CNM - Cerdanyola del Vallès |
Datos Generales del Servicio
- Unidad de servicio: Sala Blanca Integrada de Micro y Nanofabricación
- Instituto: INSTITUTO DE MICROELECTRONICA DE BARCELONA
- Localidad: Cerdanyola del Vallès (Barcelona)
- Web del servicio: http://www.imb-cnm.csic.es/index.php/en/clean-room
La Sala Blanca integrada de Micro y Nano fabricación (SBCNM) es una Gran Instalación (ICTS) dedicada al desarrollo y aplicación de tecnologías innovadoras en el campo de la microelectrónica, junto con otras Micro / Nanotecnologías emergentes. Está integrada administrativamente en el Centro Nacional de Microelectrónica - Instituto de Microelectrónica de Barcelona - (IMB-CNM), un centro de investigación perteneciente al Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC). Desde su creación, la SBCNM es la principal instalación de apoyo a la actividad de I + D del IMB-CNM. Aunque claramente definida en sus recursos, las políticas y la misión, la SBCNM necesita ser entendida en el marco del IMB-CNM. La Sala Blanca da servicio no sólo a los grupos de investigación del IMB-CNM, sino que también es un centro de acceso abierto con una amplia orientación científica y técnica en el campo de los dispositivos, circuitos y sistemas basados en la micro y nanotecnología.
Laser Photolithography
Descripción de la prestación
Fotolitografia por láser, sin necesidad de mascara de vidrio| Opciones | Unidad | Sector Público | Otros Clientes |
|---|---|---|---|
| Autoservicio Laser writer Kloe Dilase 650 | €/hora | 48.64 € | 68.1 € |
| Alta autoservicio Laser writer Kloe Dilase 650 | €/hora | 106.24 € | 148.74 € |
Otras prestaciones de servicio
- Alquiler de espacio en laboratorio de ambiente controlado (Sala Blanca)
- Deposición de capas por spinner
- Ataque iónico reactivo (RIE)
- Ebeam Lithography
- Elipsometría de capas delgadas sobre silicio
- Espectroscopía micro-Raman
- Focused Ion Beam Characterization and Nanofabrication
- Grabados húmedos, limpiezas y tratamiento de superficies
- Other inspection techniques: Optical profilometry
- Thermal Nanoimprint
- Perfilometría
- Photolithography: Contact photolithography - backside align
- Photolithography: Standard resist processing - manual
- Plasma CVD: PECVD
- Microscopía de barrido: AFM contacto
- Spectroscopy: UV - Visible spectral reflectometry
- Tratamiento de superficies por plasma
- Fabricación de muestras, componentes microelectrónicos y circuitos integrados en Sala Blanca
- Soldadura de obleas
- Secado por punto crítico (Critical Point Dryer)
- Microscopía Electrónica de Barrido (SEM)