- Localidad
- Cerdanyola del Vallès (Barcelona)
Sala Blanca Integrada de Micro y Nanofabricación
La Sala Blanca integrada de Micro y Nano fabricación (SBCNM) es una Gran Instalación (ICTS) dedicada al desarrollo y aplicación de tecnologías innovadoras en el campo de la microelectrónica, junto con otras Micro / Nanotecnologías emergentes. Está integrada administrativamente en el Centro Nacional de Microelectrónica - Instituto de Microelectrónica de Barcelona - (IMB-CNM), un centro de investigación perteneciente al Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC).
Desde su creación, la SBCNM es la principal instalación de apoyo a la actividad de I + D del IMB-CNM. Aunque claramente definida en sus recursos, las políticas y la misión, la SBCNM necesita ser entendida en el marco del IMB-CNM. La Sala Blanca da servicio no sólo a los grupos de investigación del IMB-CNM, sino que también es un centro de acceso abierto con una amplia orientación científica y técnica en el campo de los dispositivos, circuitos y sistemas basados en la micro y nanotecnología.
Prestaciones de servicio ofertadas por la unidad
- Focused Ion Beam Characterization and Nanofabrication
- Ebeam Lithography
- Soldadura de obleas
- Microscopía Electrónica de Barrido (SEM)
- Spectroscopy: UV - Visible spectral reflectometry
- Other inspection techniques: Optical profilometry
- Thermal Nanoimprint
- Laser Photolithography
- Deposición de capas por spinner
- Secado por punto crítico (Critical Point Dryer)
- Microscopía de barrido: AFM contacto
- Photolithography: Contact photolithography - backside align
- Grabados húmedos, limpiezas y tratamiento de superficies
- Photolithography: Standard resist processing - manual
- Ataque iónico reactivo (RIE)
- Plasma CVD: PECVD
- Tratamiento de superficies por plasma
- Espectroscopía micro-Raman
- Elipsometría de capas delgadas sobre silicio
- Perfilometría
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