Interferometría Optica

Benefit description

Perfilómetro óptico que proporciona imágenes 3D de la topografía de superficies mediante el principio físico de interferometría. El equipo, un Profilm3D de Filmetrics, construye mapas que van desde la escala milimétrica hasta la nanométrica con una resolución lateral limitada por el límite de difracción, y una resolución vertical sub-nanométrica con posicionamiento por piezoeléctrico con un rango de barrido de 500 um. Las dimensiones XY de la platina son de 100 mm x 100 mm. La altura máxima es de 100 mm. Tiene tres modos de trabajo: White Light Interferometry (WLI), Green Light Interferometry (GLI) y Phase Shift Imaging (PSI). Dispone de dos objetivos interferométricos de 10x y 50x, con aperturas numéricas de 0.3 y 0.55 respectivamente. La cámara tiene una resolución de 2592 píxels x 1944 píxels (5MP). El software permite hacer "stiching".