Instituto
INSTITUTO DE MICROELECTRONICA DE BARCELONA

MASCARAS METALICAS AUTO ALINEADAS PARA DEPOSITAR DE MODO SELECTIVO CAPAS FINAS SOBRE DISPOSITIVOS Y SUBSTRATOS MICROELECTRONICOS Y METODO DE EMPLEO


Investigadores

FRANCESC XAVIER JORDA SANUY
MIQUEL VELLVEHI HERNANDEZ
XAVIER PERPIÑA GIRIBET