- Instituto
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- INSTITUTO DE MICROELECTRONICA DE BARCELONA
MASCARAS METALICAS AUTO ALINEADAS PARA DEPOSITAR DE MODO SELECTIVO CAPAS FINAS SOBRE DISPOSITIVOS Y SUBSTRATOS MICROELECTRONICOS Y METODO DE EMPLEO
Investigadores
FRANCESC XAVIER JORDA SANUY |
MIQUEL VELLVEHI HERNANDEZ |
XAVIER PERPIÑA GIRIBET |