Spectroscopy: Ellipsometry (multiple wavelengths)

Descripción de la prestación

Se dispone de un Elipsómetro espectroscópico de ángulo variable (J.A. Woollam Co.) y software de modelización (WVase 32). Permite caracterizar ópticamente materiales masivos o en lámina delgada. En particular permite obtener el índice de refracción (n y k), el espesor de las láminas delgadas, la rugosidad superficial e interfacial en el caso e multicapas, la anisotropía óptica o el grado de oxidación, densidad y composición de la capa, tanto en aleaciones como en compuestos con separación de fases y nanoestructurados. Por último, en materiales dopados puede permitir determinar la concentración del dopante. Asimismo, es posible correlacionar dichas propiedades con la estructura de los materiales si se posee el know-how adecuado. El intervalo de operación es 270-1700 nm, para lo que se emplea una fuente de Xe y dos fibras específicas para UV/VIS y VIS/NIR. El sistema cuenta con un retardador automático para medida de valores de delta entre 0 y 360º y por último, cuenta con un dispositivo reductor que permite analizar áreas de tan solo 200 x 200 um^2. Además se ha implementado el último año un portamuestras que permite calentar las muestras hasta temperatures de 500ºC.