Descripción del servicio
Procesado con láseres pulsados de ns:
Se dispone de 2 láseres de excímero con duración de pulso de 20 ns que operan a 193 o 248 nm con energías de pulso y frecuencias de repetición en los intervalos 200-500 mJ/pulso y 1-20 Hz respectivamente.
Ambos láseres cuentan de sistemas de homogeneización del haz de salida y con componentes para su control y focalización sobre muestras estáticas o en movimiento controlado. Es posible procesar áreas de hasta 3 cm x 5 cm mediante la superposición de pulsos láser.
Se dispone asimismo de un láser de Nd-YAG de alta energía (1064 nm, 1500 mJ), con opciónes de doblado y triplicado de frecuencia (532 nm, 800 mJ / 355 nm, 450 mJ) a 10 Hz de frecuencia de repetición para la realización de irradiaciones estáticas o en movimiento controlado.
Estos sistemas permiten inducir transformaciones estructurales superficiales, limpieza, micro-perforación, eliminación de capas superficiales, así como la difusión superficial de impurezas o dopantes en semiconductores o dieléctricos.
Cuadro de opciones y precios
| Opciones |
Unidad |
Sector Público |
Otros Clientes |
| GENERAL |
€ / hora
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90.64 € |
99.27 € |