Micro y Nano Herramientas

Las líneas de investigación de este grupo se centran en el desarrollo de Micro y Nano Herramientas (MEMS/NEMS). Sus actividades se dividen en tres vertientes. En la vertiente tecnológica se investigarán nuevos procesos de fabricación, basados principalmente en tecnologías en silicio, con un especial interés en la compatibilización entre tecnologías de micromecanización y nanotecnologías. La vertiente del diseño y optimización mediante simulaciones, busca la realización de dispositivos innovadores. Estas simulaciones permitirán la extrapolación de los modelos físicos a escala macroscópica a niveles micro y nanométricos. La vertiente de la caracterización de los dispositivos permitirá valorar su viabilidad y comparar sus resultados con simulados. En el periodo 2014-2017 nos centraremos principalmente en dos líneas de trabajo: chips como sensores o actuadores dentro o en la membrana exterior de células vivas y materiales piezoeléctricos para generación de energía.