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- PROCEDIMIENTO DE DEPOSICION DE CAPAS DELGADAS DE ESTEQUIOMETRIA CONTROLADA SOBRE SUSTRATOS MEDIANTE PULVERIZACION CATODICA REACTIVA A ANGULO RASANTE
PROCEDIMIENTO DE DEPOSICION DE CAPAS DELGADAS DE ESTEQUIOMETRIA CONTROLADA SOBRE SUSTRATOS MEDIANTE PULVERIZACION CATODICA REACTIVA A ANGULO RASANTE