Photolithography: Contact photolithography

Unidad de servicio: <a href="/es/investigacion/catalogo-de-servicios-cientifico-tecnico/unidades-de-servicio/servicio-de-micro-y-nanofabricacion-mina" title="Servicio de Micro y Nanofabricación (MiNa)">Servicio de Micro y Nanofabricación (MiNa)
Instituto: <a href="/es/investigacion/institutos-centros-y-unidades/instituto-de-micro-y-nanotecnologia" title=" INSTITUTO DE MICRO Y NANOTECNOLOGIA">INSTITUTO DE MICRO Y NANOTECNOLOGIA
Localidad: Tres Cantos (Madrid)
Web del servicio: http://www.imm-cnm.csic.es

Información relativa a las unidades que ofrecen la prestación seleccionada
Unidad de servicio	Información de la unidad de servicio	Prestación seleccionada	Otras prestaciones de servicio
Servicio de Micro y Nanofabricación (MiNa) IMN-CNM - Tres Cantos

Descripción del servicio

Equipo: MA6-Karl Suss (UV400). Características: Capacidad de litografía por la cara posterior del sustrato y alineamiento con la cara superior (litografía de doble cara). Muy útil en aplicaciones del tipo MEMS

Cuadro de opciones y precios
Opciones	Unidad	Sector Público	Otros Clientes
Material spinner 2	€/muestra	0.06 €	0.07 €
Material spinner 3	€/muestra	0.13 €	0.15 €
Material spinner 4	€/muestra	0.27 €	0.29 €
Material spinner 1	€/muestra	1.76 €	1.93 €
Materail spinner 6	€/muestra	1.58 €	1.73 €
Con Alineadora Automática	€ / h	78.38 €	85.84 €
Material Spinner 5	€/muestra	0.03 €	0.03 €