Reflection high energy electron diffraction

El laboratorio de capas finas permite fabricar capas finas de óxidos complejos mediante depósito con láser pulsado (PLD), y de metales y aleaciones mediante pulverización catódica (sputtering) usando cátodos con magnetrón. Dispone de varias cámaras de procesado integradas en una estructura tipo cluster, con una cámara central de distribución a la que están conectadas dos unidades de PLD (una de ellas equipada con reflection high energy electronn diffraction (RHEED) permitiendo análisis en tiempo real, incluso en condiciones de alta presión), una cámara de metalizaciones equipada con tres magnetrones, y una cámara de almacenamiento para unas decenas de muestras (pronto podrá conectarse unavacuum suitcase). El acceso a todas las cámaras de procesado se hace mediante precámaras, siendo la presión base del orden de 10-8 mbar. Las capas pueden depositarse con T > 800 ºC, en atomósfera de O2 en caso de PLD y Ar en caso de sputtering.